簡易檢索 / 檢索結果

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    使用矽烷偶合劑及辛氟甲苯為原料之電漿輔助化學氣相沉積法製備低介電膜之研究
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 李坤翰 指導教授: 洪儒生
    • 本論文的長膜實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲苯(C7F8)為原料先驅物,藉由傳統平板式電漿輔助化學氣相沉積系統來成長低介…
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